厦门公物—公开比选—GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）—原子层沉积机—成交公告

一、项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053） （招标文件编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）） 二、项目名称：原子层沉积机 三、中标（成交）信息 供应商名称：厦门淳涵科技有限公司 供应商地址：厦门市集美区兑英路11号706室之一 中标（成交）金额：49.8800000（万元） 四、主要标的信息 序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 厦门淳涵科技有限公司 原子层沉积机 科民电子 TALD-200 1套 / 五、评审专家（单一来源采购人员）名单： 黄美蓉、林伯财 、李鹤宾、侯贞华、翁雅恋 六、代理服务收费标准及金额： 本项目代理费收费标准：以本项目的成交总金额为准，按1.2%计取。 本项目代理费总金额：0.598500 万元（人民币） 七、公告期限 自本公告发布之日起1个工作日。 八、其它补充事宜 成交供应商综合得分： 95.50 分 九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：华侨大学 地址：福建省厦门市集美区集美大道668号 联系方式：刘老师，0592-6167590 2.采购代理机构信息 名 称：厦门市公物采购招投标有限公司 地　址：厦门市湖滨南路81号光大银行大厦10楼 联系方式：黄小姐、杜小姐，0592-2229570、2233020，咨询时间：法定工作日，上午8:30-12:00、下午14:30-18:00。 3.项目联系方式 项目联系人：黄小姐、杜小姐，咨询时间：法定工作日，上午8:30-12:00、下午14:30-18:00。 电　话：　　0592-2229570、2233020 中小企业声明函.pdf GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）-公开比选文件.pdf

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公开比选文件项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）项目名称：原子层沉积机采购人：华侨大学代理机构：厦门市公物采购招投标有限公司项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第2页，共87页】注意事项以下内容是以往供应商在响应过程中容易疏忽的情况，为避免不必要的失误，请各供应商在响应前务必认真阅读以下事项：1、供应商必须满足公开比选文件《供应商须知前附表2：资格性、符合性检查表》中所列各项要求，否则将导致响应文件作废或响应无效。2、公开比选文件中带★号的条款均为关键条款，负偏离或不满足的将导致响应文件作废或响应无效。供应商应按照响应文件格式编制一张带“★”号条款逐条响应情况表，避免因响应文件的顺序被误认定为没有提供。3、公开比选文件如有变更（答疑文件、补充通知、延期通知、最高限价通知等），我司将发出书面通知（以传真或电子邮件的形式）或在原信息发布媒体上发布通知，请供应商自行关注。4、为确保在响应截止时间前提交响应文件，请务必考虑交通拥挤及其他不可预见因素，提前做好出行安排，逾期提交的响应文件将被拒收。5、若公开比选文件要求提供样品的，供应商还应确保样品在响应截止时间前送达采购代理机构指定地点，提交样品时请务必考虑时间点，避开电梯使用高峰期，以免给供应商造成不必要的麻烦。未成交的供应商，须在本项目结果公告发布或采购代理机构发出通知后的2个工作日内自行退回其样品，未在规定时间内退走的样品，采购代理机构不对其负保管责任，概不承担样品的遗失或损坏责任。6、办理比选保证金缴交时，请核对账号、收款单位、开户银行是否正确，是否足额提交比选保证金，并确保在响应截止时间前到账，否则将被视为无效响应处理。7、公开比选文件第五章、第六章的响应文件格式中要求供应商盖章、比选代表签字的均应按要求盖章、签字，其他材料若无法逐页加盖供应商公章，至少要盖骑缝章（包括供应商所提供的产品彩页等佐证材料）。8、为确保响应文件密封的完好性，在提交响应文件时供应商应自行检查响应文件的密封情况。供应商须确保密封的牢固性，响应文件的封口包括文件袋的袋口、袋底及侧边均应按要求进行密封。供应商应自行承担在检查响应文件过程中因密封不符合规定导致响应文件被拒绝的所有责任。9、在二次比选中，沿用之前旧项目响应文件电子版编制新项目的响应文件，却未更改响应文件编号或响应日期的将可能导致响应文件作废或响应无效。10、供应商应按照响应文件格式要求，将响应文件第一册《价格分册》和第二册《技术商务分册》（技术商务分册不得体现应属于价格的相关内容）两册单独装订，分册密封。项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第3页，共87页】目录第一章比选邀请....................................................................................................................5附：采购项目一览表.............................................................................................................7第二章供应商须知................................................................................................................8供应商须知前附表1..........................................................................................................8供应商须知前附表2：资格性、符合性检查表................................................................11供应商须知前附表3：评审方法、评审标准、成交原则................................................17供应商须知前附表4：采购政策优惠办法........................................................................22第一节说明....................................................................................................................261适用范围.......................................................................................................................262定义...............................................................................................................................263合格的供应商...............................................................................................................264相关费用.......................................................................................................................28第二节公开比选文件.......................................................................................................285公开比选文件的组成...................................................................................................286公开比选文件的澄清...................................................................................................287公开比选文件的修改...................................................................................................29第三节响应文件的编写...................................................................................................298要求...............................................................................................................................299响应文件语言...............................................................................................................3010响应文件的组成.........................................................................................................3011响应有效期.................................................................................................................3112比选保证金及采购代理服务费.................................................................................3113响应文件的格式.........................................................................................................32第四节响应文件的提交...................................................................................................3314响应文件的密封、标记和提交.................................................................................33第五节响应文件的开启、审查、比较和评价...............................................................3415开启.............................................................................................................................34项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第4页，共87页】16资格性检查.................................................................................................................3417符合性检查.................................................................................................................3518响应文件的初审.........................................................................................................3519响应文件的澄清.........................................................................................................3620比较与评价.................................................................................................................36第六节成交与签订合同...................................................................................................3721成交准则.....................................................................................................................3722成交通知.....................................................................................................................3723签订合同.....................................................................................................................3824质疑.............................................................................................................................3925采购政策.....................................................................................................................39第三章采购内容及要求......................................................................................................42第一节技术要求...............................................................................................................421货物技术要求...............................................................................................................422技术响应要求...............................................................................................................433验收条件及标准...........................................................................................................45第二节商务要求...............................................................................................................454商务响应要求...............................................................................................................455售后服务要求...............................................................................................................45第三节报价要求...............................................................................................................476响应报价.......................................................................................................................477付款方式、履约保证金...............................................................................................47第四章采购合同..................................................................................................................49第五章响应文件价格分册格式..........................................................................................56第六章响应文件技术商务分册格式..................................................................................66项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第5页，共87页】第一章比选邀请受华侨大学委托，我司就原子层沉积机项目进行国内公开比选，现欢迎国内合格的供应商前来提交密封的响应文件。一、项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）二、采购项目名称、数量及主要技术规格：见后附“采购项目一览表”三、公开比选文件发售时间（即购买公开比选文件时间）：即日起至2026年9月14日下午18：00止（北京时间，下同）。邮寄购买的以款到代理机构账户的时间为准。公开比选文件售价：人民币50元，售后不退。获取文件期限内，供应商应通过公E采电子招标采购服务平台（www.xmzfcg.com）的注册账号（免费注册）获取公开比选文件或通过厦门市湖滨南路81号光大银行大厦10楼前台获取或邮寄购买。未按规定获取公开比选文件的，其响应文件将被拒收或响应无效。四、响应截止时间：响应文件应于2026年9月18日上午09：30之前提交到厦门市湖滨南路81号光大银行大厦10楼开标厅2，逾期送达或者未按照公开比选文件要求密封的响应文件将被拒收。五、开启时间：2026年9月18日上午09：30。开启地点：厦门市湖滨南路81号光大银行大厦10楼开标厅2。六、供应商对本次采购活动事项提出疑问的，请在不晚于响应截止时间1个工作日前，以电子邮件、信函或传真的形式与采购代理机构项目经办人联系。七、有关事宜的联系方式：序号职务分工联系人职责范围联系电话1项目经办黄雅祯杜亚娟负责公开比选文件的咨询、答疑等工作0592-22295700592-22330202总台程小姐负责公开比选文件发售，服务费收取等工作0592-22308883财务魏小姐负责保证金收退等咨询工作0592-2279303公司传真：0592-2225703联系邮箱：xmgwcgzy@163.com八、比选保证金、公开比选文件费、代理服务费缴交账户：项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第6页，共87页】开户行中国农业银行股份有限公司厦门非矿支行账号40343001040010641收款单位厦门市公物采购招投标有限公司1、供应商应按照所投合同包的比选保证金要求，缴交相应的比选保证金。2、供应商应认真核对账户信息，将比选保证金汇入以上账户，并自行承担因汇错比选保证金而产生的一切后果。3、供应商在转账或电汇的凭证上应按照以下格式注明，以便核对：“（项目编号：***、合同包：***）的比选保证金”。厦门市公物采购招投标有限公司2026年9月7日项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第7页，共87页】附：采购项目一览表合同包品目号采购标的数量最高限价（元）采购标的所属行业主要技术要求11-1原子层沉积机1台550000工业详见第三章采购内容及要求1、交付地点：华侨大学（厦门校区）2、交付期限：合同签订后45个日历日内到货并按要求安装调试、交付使用。3、本项目不接受进口产品参与响应。注：供应商对同一合同包内所有品目号内容响应时必须完整。评审与成交以合同包为单位。项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第8页，共87页】第二章供应商须知供应商须知前附表1本须知前附表1的内容是与《供应商须知》中条款的内容对应的，如有矛盾，应以本附表为准。项号条款号编列内容1项目名称：原子层沉积机采购人名称：华侨大学采购人地址：福建省厦门市集美区集美大道668号项目内容：详见“附：采购项目一览表”及第三章项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）2本项目采购标的最高限价为：合同包1：人民币55万元。供应商的报价超过最高限价的响应无效。33资格标准：详见《供应商须知前附表2》的“资格性要求”4响应文件提交地址：详见《第一章比选邀请》响应截止时间：详见《第一章比选邀请》在响应截止时间后提交的响应文件，采购代理机构将不予接收。512比选保证金：人民币11000元整。（1）比选保证金应以供应商名义以转账、电汇等形式提交；并在银行受理单据上标明项目编号，在用途一栏上注明“保证金”等相关信息。供应商为联合体的，可以由联合体中的一方或者多方共同交纳比选保证金，其交纳的比选保证金对联合体各方均具有约束力。（2）采购代理机构不接受现场缴交现金或以供应商名义现金缴款单等形式提交比选保证金。（3）比选保证金必须在响应截止时间前到达《第一章比选邀请》中的指定账号，缴错账号而产生的一切后果由供应商自行承担。（4）供应商在提交响应文件时，请另外单独提交一份字迹清晰的保项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第9页，共87页】证金缴交银行回单等缴交凭证复印件（凭证应清晰注明供应商的开户名、开户行、账号、保证金金额、项目编号，并加盖供应商公章）给代理机构接收响应文件的工作人员（无须与响应文件一同装订或密封）。项目采购结束后，采购代理机构将根据相关规定将比选保证金退回原账号。6评审方法、标准及成交原则：详见《供应商须知前附表3》。712.2采购代理服务费：（1）收费标准以本项目的成交总金额为准，按差额定率累进法计取，具体按以下标准计取：各基数段货物类（0，100万元]1.20%（2）若按上述标准计取的采购代理服务费不足4000元的，则采购代理服务费按4000元计取。（3）采购代理服务费由成交供应商在领取成交通知书的同时，以转账、电汇、现金存款等付款方式一次性缴清。（4）服务费缴交账号详见《第一章比选邀请》。823合同签订：成交供应商须在结果公告发布后7个工作日内将合同初稿发至代理机构邮箱：1467272343@qq.com并电话告知进行合同电子版的核对和梳理（0592-2229570），最终合同文本由采购人审查确认。成交供应商必须于结果公告发布后20日内持成交通知书、履约保证金底单至采购人处与采购人签订合同，否则采购人有权取消其成交资格。若因特殊情况无法在规定的期限内签订合同的，须事先征得采购人的同意，并在采购人要求的期限内签订合同，否则采购人有权取消成交供应商的成交资格。比选文件、成交供应商的响应文件均作为合同订立的基础。成交供应商应将合同副本（一份）送采购代理机构备案。9评审中出现下列情形之一的，评审小组应当启动异常低价响应审查程序：（1）响应报价低于全部通过符合性审查供应商响应报价平均值项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第10页，共87页】【50%】的，即响应报价＜全部通过符合性审查供应商响应报价平均值×【50%】；（2）响应报价低于通过符合性审查的次低报价供应商响应报价【50%】的，即响应报价＜通过符合性审查的次低报价供应商响应报价×【50%】；（3）响应报价低于采购项目最高限价【45%】的，即响应报价＜采购项目最高限价×【45%】；（4）评审小组基于专业判断，认为供应商报价过低，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的其他情形。1024.2质疑函应采用下列方式之一提交：（1）邮件形式：将质疑函原件扫描发送至邮箱：xmgwcgzy@163.com。收到质疑函的时间以邮箱显示的收到时间为准。质疑答复过程中需要核对原件的质疑人应提供原件核查，否则相关资料可能不被认可。（2）快递形式：将质疑函原件快递至厦门市湖滨南路81号光大银行大厦10楼前台，收件人：程小姐，电话：0592-2230888。收到质疑函的时间以快递签收时间为准。（3）现场送达：将质疑函原件现场送至厦门市湖滨南路81号光大银行大厦10楼前台。收到质疑函的时间以前台签收时间为准。质疑期限：（1）对公开比选文件提出质疑的，应不晚于供应商提交响应文件截止之日前1个工作日提出。（2）对结果提出质疑的，应当在结果公告期限届满之日起3个工作日内提出。注：逾期提交的质疑将不予受理。项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第11页，共87页】供应商须知前附表2：资格性、符合性检查表本须知前附表2集中列示了资格性、符合性检查的所有条款，其中资格性要求的内容是资格审查小组确定供应商是否合格的重要依据，符合性要求的内容是评审小组确定供应商的响应是否有效的重要依据。资格性要求项号章条款号具体内容1二3合格的供应商：具体内容详见第二章第3条“合格的供应商”。2二16.4供应商应当具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款规定的基本条件，并提供下列证明材料：（一）法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明；供应商是法人或者其他组织的应提供营业执照等证明文件；供应商是自然人的应提供有效的自然人身份证明。（二）财务状况报告，依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料；供应商是法人的，应提供上一年度或近期的财务状况报告（至少包含资产负债表、现金流量表、利润分配表）；或提供银行出具的资信证明。依法缴纳税收和社会保障资金的证明材料主要是供应商缴纳相应税收（如增值税、营业税或企业所得税等）的凭据，缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单）。依法免税或不需要缴纳社会保障资金的供应商，应提供相应文件证明其依法免税或不需要缴纳社会保障资金。（三）具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（可以提供证书、承诺书等）；（四）参加采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第12页，共87页】录的书面声明（或者在参加采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限已届满）；（五）具备法律、行政法规规定的其他条件的证明材料。供应商不满足上述规定的基本资格条件或提供资格证明文件不全的，其响应无效，以上资格证明文件为复印件的，须加盖供应商公章，且原件备查。3二16.4采购人根据采购项目的要求规定的特定条件：无。供应商不满足上述规定的特定条件或提供证明文件不全的，其响应无效，以上证明文件为复印件的，须加盖供应商公章，且原件备查。4二16.4本项目不接受联合体响应。5二16.4供应商代表若不是单位负责人的，则必须提供单位负责人对供应商代表的授权书原件。6二16.4在资格审查时，将通过中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）、“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“信用中国（福建厦门）”网站（www.creditxm.gov.cn）等渠道全面查询供应商响应截止当日前3年内的信用及违法记录。对参加采购活动前3年内在经营活动中有重大违法记录的供应商，响应无效。（“重大违法记录”指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚，例如被列入失信被执行人、重大税收违法失信主体名单、政府采购严重违法失信行为记录名单、“信用厦门”警示警告名单，受到政府采购行政处罚或者存在行贿犯罪记录，且相关信用惩戒期限未满，以及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的。“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定。联合体成员存在重大违法记录的，视同联合体存在重大违法记录。）项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第13页，共87页】7二16.4供应商未按《供应商须知前附表1》要求提交比选保证金的，响应无效。符合性要求项号章条款号具体内容1二11.1响应有效期：从提交响应文件的截止之日起90个日历日内保持有效。响应文件中承诺的响应有效期少于上述响应有效期的，响应无效。响应有效期内供应商撤销响应文件的，采购代理机构可以不退还比选保证金。2二17.3供应商有下列情况之一者，响应文件将被视为未实质性响应公开比选文件要求：（1）响应文件未按照本章须知第14.2条的规定进行签署、盖章的；（2）未按规定由供应商的单位负责人或其授权代表签字；或未加盖供应商公章的；或签字人未提供单位负责人有效授权委托书的；（3）响应有效期不满足公开比选文件要求的；（4）响应内容与采购内容及要求有重大偏离或保留的；（5）供应商提交的是可选择的报价；（6）供应商未按规定进行分项报价；（7）响应文件中提供虚假或失实资料的；（8）对公开比选文件中带“★”的条款的有任何负偏离或不满足的；（9）不符合公开比选文件中规定的其他实质性条款；（10）响应报价超过采购预算金额或最高限价的；（11）实质性影响合同的范围、质量和履行；（12）实质性违背公开比选文件，限制了采购人的权利或成交供应商合同项下的义务；项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第14页，共87页】（13）不公正地影响了其他作出实质性响应的供应商的竞争地位；（14）联合体参与未提交联合体协议的；（15）响应文件载明的采购项目完成期限超过公开比选文件规定的；（16）响应文件含有采购人不能接受的附加条件的；（17）未提供合同签订承诺函的；（18）响应文件的技术商务分册中有响应报价相关内容的；（19）供应商存在法律、法规和公开比选文件规定的其他无效情形的，响应无效。3采购货物中有属于《节能产品政府采购品目清单》内强制采购的品目的（包括台式计算机，便携式计算机，平板式微型计算机，激光打印机，针式打印机，液晶显示器，制冷压缩机，空调机组，专用制冷、空调设备，镇流器，空调机，电热水器，普通照明用双端荧光灯，电视设备，视频设备，便器，水嘴），供应商所投产品必须具有节能产品认证证书，并在响应文件中提供依据国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品认证证书复印件，否则视为无效响应。本项目中强制采购节能产品的货物名称：无。4本项目为单一产品采购项目，提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同供应商参加同一合同项下响应的，按一家供应商计算，评审后得分最高的同品牌供应商获得成交供应商推荐资格；评审得分相同的，则响应报价较低的供应商获得成交供应商推荐资格；若评审得分和响应报价均相同，则技术得分较高的供应商获得成交供应商推荐资格；若以上办法无法确定，则由评审小组会进行无记名投票确定，其他同品牌供应商不作为成交候选人。符合性要求附表：带“★”号条款汇总表项号章条款号具体内容1三1★1.腔体：加热采用外置加热结构，加热部件在反应腔体项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第15页，共87页】外侧，反应腔内侧无加热结构，反应源不会以包括微观扩散在内的任何方式接触加热器；（须提供相关产品说明书或彩页等材料作为佐证）2三1★3.温度：基片温度上限不得超过150℃，SnO2反应温度不超过100℃，控制精度±1℃；（须提供相关产品说明书或彩页等材料作为佐证）3三1★9.真空泵：机械泵一套，抽速≥60m³/h，真空泵前级配置热阱，可以加热至500℃，防止前驱体源在管路内冷凝；（须提供相关产品说明书或彩页等材料作为佐证）4三1★12.设备高度≤850mm，腔室周边预留有和手套箱对接的法兰和O圈接口，以便与各国产厂商的手套箱（箱体到地面高度＞880mm）对接。对接方式：将ALD设备推入单工位标准手套箱底部后，通过升降脚架将设备整体升高，至设备法兰和O圈与手套箱箱体底部法兰开口对准后，锁定升降脚架，保证ALD设备和手套箱大腔能够完成密封，ALD设备的反应腔室盖子能够在手套箱内部以上述开盖的形式打开。（须提供相关产品说明书或彩页等材料作为佐证）5三1★13.在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积300次循环氧化锡，膜厚非均匀性NU≤±1.5%为合格；非均匀性测试方法：（1）样品台边缘10mm以外放置至少13个≥5mm×5mm的测试片，在镀膜后样品表面中心位置进行膜厚测试。（2）样品台边缘10mm以外放置4英寸或6英寸的测试片，在镀膜后对样品表面进行整面膜厚测试。椭偏仪测试片内膜厚最大值、最小值分别记为Tmax、Tmin；非均匀性NU=(Tmax-Tmin)/(Tmax+Tmin)。（须提供相关产品说明书或彩页等材料作为佐证）6三66.6★本项目采购标的设有最高限价，响应报价超过最高限价的响应无效。项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第16页，共87页】备注：1、针对上述部分技术参数要求数值为定值的，供应商可提供优于该参数的产品进行响应。2、带“★”号条款供应商应逐条进行响应，并逐条填写带“★”号条款逐条响应情况表。项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第17页，共87页】供应商须知前附表3：评审方法、评审标准、成交原则一、评审程序：首先由采购人或采购代理机构对各供应商的资格进行审查，经资格审查后合格供应商满足三家或以上的方可进入评审程序。进入评审后，首先由评审小组对资格符合的供应商的响应文件进行符合性审查，只有符合性审查满足公开比选文件实质性要求的响应文件才能进入综合评分。二、评审方法：综合评分法三、评审标准：评审小组将严格按照公开比选文件的要求实行两阶段评审：第一阶段：技术商务分册评审（响应文件价格分册在技术商务分册评审评分结束前密封保管，采购人、采购代理机构不得将供应商的报价向评审小组公布），评审小组按照公开比选文件规定的评审方法和标准，评出实质性响应公开比选文件技术商务要求的供应商，并计算出各供应商技术商务部分的得分；第二阶段：价格分册评审，经第一阶段评选出的实质性响应公开比选文件技术商务要求的供应商进入第二阶段评审。评审小组按公开比选文件规定的评审方法和标准，评出实质性响应公开比选文件报价要求的供应商，并在各项优惠政策加分或价格扣除基础上计算出各供应商价格部分的得分。评审小组各位评委依据评分标准以及各项权重统计每个通过审核的供应商的综合得分。（一）具体的评审标准：序号评分界定分值1、技术因素（满分50分）注：（1）供应商技术部分的实际得分少于公开比选文件设定的技术部分总分50%的，则视为其响应内容与采购要求存在重大偏离或保留，符合性审查不予通过，响应无效。（2）技术参数中凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。（3）公开比选文件中的技术参数均为基本参数（最低标准），若供应商提供的技术参项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第18页，共87页】数优于基本参数的，也视同满足要求。1-1供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：2.样品台和载板：适用于1片最大不超过直径8英寸玻璃或硅片样品镀膜，适用于薄膜大面积沉积；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-2供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：4.金属源：至少3路可加热直通源，配置高温快速ALD阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-3供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：5.氧源：至少1路常温直通源，配置快速ALD阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶，同时配备加热模块，可实现25-35℃的加热；1路臭氧源，含臭氧发生器，调节阀，气动阀，臭氧产量＞10g/h，浓度＞100mg/L，适配不同薄膜沉积及多薄膜的共沉积；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-4供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：6.载气系统：2路N2，高精度质量流量计控制，所有前驱体源管路采用316LEP管路+VCR密封，并具有在线清洗功能，保证气路清洁，沉积薄膜无污染；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-5供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：7.整机本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa·L/S；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-6供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：8.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-7供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：10.真空计：全量程皮拉尼真空计1个+工艺薄膜真空计1个（双真空计），5项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第19页，共87页】测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%，真空计前设有保护真空计的过滤网以及气动隔膜阀；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。1-8供应商所投【原子层沉积机】满足以下要求的得5分：11.高精度PLC+工控机+沉积自动控制软件组成的控制系统，图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便调节温度、流量、脉冲时间等参数，多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性，沉积模式采用连续模式+停流模式，人机界面采用悬挂式触摸屏或显示器；注：需提供相关产品说明书或彩页等材料进行佐证，否则不得分。51-9根据投标人提供的使用培训方案进行评价：①有针对本项目提出培训方案，方案包括但不限于培训计划、培训内容（故障处理、服务保障、教师课程等）、培训课时安排的得3分；②在满足①的基础上，方案突出培训重点、并有相应措施，有明确的师资安排，课时安排合理有序，确保培训内容符合项目需求的得5分；③未提供或不满足上述要求的不得分。51-10根据投标人提供的设备保障措施进行评价：①有针对本项目设备提供保障措施的得3分；②在满足①的基础上，措施包括所投产品所需的配件说明、辅助设备说明、故障排除说明等，符合本项目需求的得5分；③未提供或不满足上述要求的不得分。52、商务因素（满分15分）2-1根据供应商提供的售后服务方案进行评价：①有针对本项目性质特点制定相应的售后服务方案，且包含服务内容、服务流程及服务承诺的得2分；②在满足①的基础上，方案有明确售后服务人员及联系方式、售后服务措施等，且满足本项目售后服务要求的得3分；③提供相关方案阐述或方案阐述内容不符合上述标准的不得分。32-2交付期：在满足公开比选文件要求（45个日历日）的基础上，每提前53项目编号：GW2026-ZYSH009（2026CGZXGKBX0053）厦门市公物采购招投标有限公司电话：0592-2230888【第20页，共87页】个日历日加1.5分，满分3分。需提供书面承诺（格式自拟），否则不得分。2-3质保期：在满足公开比选文件要求（1年）的基础上，每延长6个月得1.5分，满分3分。需提供书面承诺（格式自拟），否则不得分。32-4根据供应商承诺的售后服务响应时间（到达项目维修现场时间）进行评分：接采购人通知后24小时（含）内到达项目维修现场得3分。需提供书面承诺（格式自拟），否则不得分。32-5根据供应商或产品制造商提供的自2023年8月1日至今（以合同签订时间为准）销售的包含原子层沉积机产品的业绩进行评价，每提供一个得1分，满分3分。须提供该业绩以下资料的有效复印件（原件备查）：①中标（成交）公告（提供相关网站中标（成交）公告的下载网页及其网址）；②中标（成交）通知书；③采购合同文本；④能够证明该业绩项目已经采购人验收合格的相关证明文件。以上材料要求提供齐全原件备查，如未按照公开比选文件要求提供该项业绩完整资料的，评审小组对该项业绩将不予采信。33、价格因素（满分35分）3-1各有效报价得分=35×（最低有效报价÷有效供应商报价）。供应商若达到“供应商须知前附表4”中规定的价格扣除的条件的，按扣除后的评审价格进入价格因素评分。35各有效供应商的综合得分＝技术因素＋商务因素＋价格因素备注：由于评分主要根据响应文件提供的资料进行，供应商须自行承担由于资料提供不全、错漏、或者无效而导致的不利评审，并对自身提供的响应文件、资料的真实可靠性负责，所有证明材料均应加盖供应商公章。1、采购人或采购代理机构对供应商进行资格审查以及评审小组对符合资格的供应商的响应文件进行符合性审查，应当按照公开比选文件的规定均采用相同的程序和标准。